Каталог
Электромеханические микроустройства

Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведеныегоосновные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом.
Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
Мухуров Н. И. Электромеханические микроустройства / Н.И. Мухуров, Г.И. Ефремов. - Минск : Беларуская навука, 2012. - 257 с. - ISBN 978-985-08-1419-7. - URL: https://www.ibooks.ru/bookshelf/28820/reading (дата обращения: 28.09.2025). - Текст: электронный.